GC-9280型气相色谱仪采用配备气路切换装置和氦离子化检测器的气相色谱仪对各组分分析。当样品气体经色谱柱分离后进入氦离子化检测器时，与亚稳态的氦发生非弹性碰撞而电离，在检测器的收集极输出相应的微电流，微电流经放大器放大后的电流讯号在一定范围内与组分含量成正比。将样品气体的色谱峰与标准气体进行比较，根据保留时间定性，电流讯号大小定量，从而测定样品气体中各组分的含量。

GC-9280型气相色谱仪适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定；氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。

仪器设备 

载气：高纯氦气，纯度≥99.999×10-2（体积分数）；

标准气体：

氦中氢气标准气体，含量为5×10-6（体积分数）；

氦中氧气+氩气标准气体，含量为5×10-6（体积分数）；

氦中氮气标准气体，含量为5×10-6（体积分数）；

氦中甲烷标准气体，含量为5×10-6（体积分数）；

氦中一氧化碳标准气体，含量为5×10-6（体积分数）；

氦中二氧化碳标准气体，含量为5×10-6（体积分数）。

仪器配置

GC-9280型气相色谱仪（北京普瑞分析仪器有限公司）采用配备气路切换装置和氦离子化检测器（PDHID），仪器对氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。

色谱柱1：长2.0 m，内径3.2 mm，内部装填颗粒度为（60～80）目的Carboblack W的色谱柱；

色谱柱2：长2.0 m，内径3.2 mm，内部装填颗粒度为（60～80）目的13X分子筛不锈钢色谱柱；

色谱柱3：长4.0 m，内径3.2 mm，内部装填颗粒度为（60～80）目的Hayesep Q不锈钢色谱柱。

分析流程图: