ZVI-FV系列气浮并联负刚度主动隔振平台

特点

• 空气弹簧支撑，磁负刚度机构

• 机械式倒立摆负刚度机构并联正刚度机构

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.5Hz起

• 标品负载*大支持4600-6200KG

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 总体规格（长、宽、高）多种规格可选

• 核心控制系统全部自研

• 核心部件国产化

技术指标

• 主动隔振带宽：0.5-150Hz

• 台面稳定性：≤±5um

• 传递率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-45dB@10Hz

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 系统支持*大功率700W

• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

       NTBK：0.1mm/600mm×600mm

       大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）

• 台面厚度：100/200/300mm

• 孔径：可定制孔径

• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

• 标品单腿*大承载能力：1600Kg

命名规则

选型表：（-K、-O参考具体台面信息）

尺寸图：