1

可选版本

.NM，绝*无磁版本；

.HV，高真空版本；

.UHV，超高真空版本；

2

外形尺寸

58 x 25 x 20 mm

3

主体材料

标准版， .HV，.UHV  钢：100 g;   .NM 钛合金，陶瓷：60 g

4

运动行程

20 mm

5

速度范围

默认：0.1 mm/s ~ 1 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s

6

驱动力

30 N

7

保持力

40 N

8

*小步伐（开环)

2 nm

9

开环运动分辨率

0.02 nm

10

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)

11

控制器规格

MC-LuZhishen系列

1

可选版本

.NM，绝*无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本

2

外形尺寸

58 × 25 × 25 mm

3

主体材料

标准版、.HV、.UHV：钢，130 g；.NM：钛合金，陶瓷，75 g

4

运动行程

15 mm

5

速度范围

默认：0.1 mm/s ~ 1 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s

6

驱动力

30 N

7

保持力

40 N

8

双向重复定位精度

± 125 nm

9

全程俯仰 / 偏摆

0.3 mrad

10

*小步伐（开环）

2 nm

11

*小步伐（闭环）

5 nm

12

开环分辨率

0.02 nm

13

位置传感器类型

光学位置传感器

14

位置传感器分辨率

2 nm

15

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)

16

控制器规格

MC–LuZhishen 系列

1

可选版本

.NM，绝*无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本

2

外形尺寸

110 × 30 × 40 mm

3

主体材料

标准版、.HV、.UHV：钢，200 g；.NM：钛合金，陶瓷，130 g

4

运动行程

70 mm（长度可定制）

5

速度范围

默认：0.1 mm/s ~ 3 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.9 mm/s

6

驱动力

100 N

7

保持力

120 N

8

*小步伐（开环）

2 nm

9

开环运动分辨率

0.02 nm

10

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)

11

控制器规格

MC–LuZhishen 系列