1

可选版本

.HV，高真空版本;

.UHV，超高真空版本；

.NM，完全无磁版本；

2

外形尺寸

Ø70 × 65 mm

3

主体材料

标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：400 g；,NM 纯钛，陶瓷：600 g

4

*大垂直负载

300 g

5

运动行程 X，Y，Z

± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm

6

运动行程 θX，θY ，θZ *

± 16 °,± 13 °,± 26 °

7

单向重复精度 X，Y，Z *

± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm

8

单向重复精度θX，θY，θZ

± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad

9

*小步伐 X，Y，Z

10 nm，10 nm，10 nm

10

*小步伐 θX，θY，θZ

1 μrad，1 μrad，1 μrad

11

传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm

13

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)

14

控制器规格

MC-Free6D

1

可选版本

.HV，高真空版本;

.UHV，超高真空版本；

.NM，完全无磁版本；

2

外形尺寸

Ø150 × 90 mm

3

主体材料

标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：1.4 kg；,NM 纯钛，陶瓷：2.1 kg

4

*大垂直负载

1 kg

5

中空孔径

Ø40 mm

6

运动行程 X，Y，Z *

± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm

7

运动行程 θX，θY ，θZ *

± 9 °,± 8 °,± 14 °

8

单向重复精度 X，Y，Z

± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm

9

单向重复精度 θX，θY，θZ

± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad

10

*小步伐 X，Y，Z

10 nm，10 nm，10 nm

11

*小步伐 θX，θY，θZ

1 μrad，1 μrad，1 μrad

12

传感器类型

光学位置传感器

13

位置传感器分辨率

2 nm

14

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)

15

控制器规格

MC-Free6D