| 8寸晶圆class100可联网封装专用无尘烘箱 MES烘箱 |
| 控制系统 | 工控电脑+欧姆龙PLC | |
| 权限 | 给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码; | |
| 给每个操作者,自定义分配权限(如:启动,停止,调取工艺,调试,查看报表……) | ||
| 记录当前操作者的所有操作记录; | ||
| 控制方式切换 | 本地模式 | 由操作者,创建工艺、选择工艺、执行; |
| 远程模式 | 客户系统发送运行工艺指令。支持:MES, SECS/GEM (其他系统,可沟通开发) | |
| 数据信息(数据信息可以存10年以上!) | 运行工艺信息记录 | |
| 运行数据记录(如:温度、时间、含氧量、气体流量、压力……) | ||
| 事件记录(开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件) | ||
| 通讯记录(与客户系统通讯记录) | ||
| 操作记录(操作者操作记录,如:登录,注销,故障处理……) | ||
| 故障信息显示 | 通讯故障 | |
| 加热断线 | ||
| 循环风机故障 | ||
| 气体管路故障 | ||
| 异常处理 | 上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机;(控制点和采样点) 独立设备温度超限断电; 异常断电 |
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| 品牌: | 旦顺 |
| 型号: | QMO |
| 加工定制: | 是 |
| 类型: | 无尘 |
| 材质: | 不锈钢 |
| 温度范围: | 20℃~300 ℃ |
| 功率: | 待定 |
| 工作室尺寸: | 定制 mm |