MES烘箱450*450*700智能化晶圆封装class100无尘烤箱
智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发,基于TCP/ip协议,与工厂系统对接,实现自动化烘烤,过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造,大大提高生产效力!
智能烘箱过程管理描述:
1.> 工厂系统,选择烘烤工艺,启动/停止烘箱;
2.> 工厂系统根据,过程判断待烤料件工位,记录反馈工位信息;
3.> 系统控制开/关门等动作;
4.> 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如:超温,氮气不足,含氧量超标、门未关到位;
5.> 实施记录各种相关数据,如,温度,料件ID,工艺信息
智能烘箱主要参数介绍:
温度范围:室温+20℃~300/400/500/600℃
均匀度:±1.5%
洁净等级:Class10 Class100(洁净度要求可根据客户需求配置)
含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根据客户需求配置)
升温速度:常温~+600℃,升温速率:0~7℃/min,升温斜率程序可控
降温速度:降温斜率程序可控,500℃~300℃约3~5℃/min,300℃~120℃约1~3℃/min,120℃~65℃约0.5~1℃/min
控制系统优势介绍
控制系统 |
工控电脑+欧姆龙PLC |
权限 |
给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码; |
给每个操作者,自定义分配权限(如:启动,停止,调取工艺,调试,查看报表……) |
记录当前操作者的所有操作记录; |
控制方式切换 |
本地模式 |
由操作者,创建工艺、选择工艺、执行; |
远程模式 |
客户系统发送运行工艺指令。支持:MES, SECS/GEM (其他系统,可沟通开发) |
数据信息(数据信息可以存10年以上!) |
运行工艺信息记录 |
运行数据记录(如:温度、时间、含氧量、气体流量、压力……) |
事件记录(开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件) |
通讯记录(与客户系统通讯记录) |
操作记录(操作者操作记录,如:登录,注销,故障处理……) |
故障信息显示 |
通讯故障 |
加热断线 |
循环风机故障 |
气体管路故障 |
异常处理 |
上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机;(控制点和采样点)
独立设备温度超限断电;
异常断电 |
公司名称:上海旦顺实业有限公司 ,业务经理:蒋鑫; 手机号:15221744475,24小时服务热线:400-823-8860
公司主页:www.espec.com.cn