MT-400AH主要用于半导体产品尺寸检测。苏州卡斯图电子有限公司MT-400AH工具金相显微镜
我们采用高亮的LED照明,通过高精密的光栅尺来对产品进行测量,超大的行程能满足12寸晶圆的测量。
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MT系列参数 |
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带Z轴测量 |
型号 |
MT-100AH |
MT-200AH |
MT-300AH |
MT-400AH |
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三目镜筒 |
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三目 |
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图像 |
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正像/反像 |
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观察方法 |
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明场、暗场、偏光、微分干涉观察(可选) |
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目镜 |
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屈光度可调10X(视场数:22mm)、20X(可选) |
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物镜 |
明视场 |
长工作距离物镜 |
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暗视场 |
所有Plan BD系列镜头(可选) |
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调焦系统 |
*大被测物高度 |
150mm |
200mm |
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调焦方法 |
粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈) |
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照明装置 |
透射照明 |
远心照明、无级亮度可调、5W LED光源 |
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反射照明 |
科勒照明、FA辅助对焦、可调视场光阑、可调孔径光阑、无级亮度可调、LED光源/卤素光源可选 |
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斜照明 |
LED环型光源/光纤冷光源 |
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载物台 |
测量范围 |
100*100mm |
150*100mm |
200*150mm |
300*200mm |
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金属台尺寸 |
285*250mm |
300*250mm |
400*280mm |
500*350mm |
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玻璃尺寸 |
170*145mm |
204*145mm |
245*192mm |
350*250mm |
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快速释放装置 |
标准配置 |
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数字计数器 |
*小读数 |
可在1/0.5/0.1μm选择 |
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功能 |
调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出 |
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测量精度 |
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(3+0.02L)μm L为测量长度 |
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功耗 |
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45W、85~240VAC 50/60HZ |
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主机 |
外型尺寸(W*D*H)mm |
445*670*710 |
480*670*710 |
607*793*720 |
720*810*720 |
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重量 |
50KG |
55KG |
80KG |
110KG |
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| 品牌: | KASTU |
| 型号: | MT-400AH |
| 加工定制: | 否 |
| 类型: | 光学 |
| 目镜放大倍数: | 10 |
| 物镜放大倍数: | 5X/10X/20X/50X/100 |
| 仪器放大倍数: | 50X-1000 |
| 重量: | 100000 g |