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微电子半导体晶圆制程工艺气体过滤终端316L快速进气扩散器50纳米
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广东深圳龙岗区
深圳市恒歌科技有限公司
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图文详情
产品参数
恒歌DF系列扩散器专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003um。独特的全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。
型号:
50纳米
用途:
过滤
样式:
板框式
设备重量:
1 kg
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