四氯硅烷分析用氦离子色谱仪

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四氯硅烷分析用氦离子色谱仪

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上海

上海华爱色谱分析技术有限公司

13年

指数：280

工商已认证

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产品参数

四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。

硅(SiHCl3)含量（体积分数）/l0-6 ≤		400	25
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（体积分数）/l0-6 ≤		400	25
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（体积分数）/l0-6 ≤		200	50
金属元素及其他元素含量	（硼+铝）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤	——	0.1
	（磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤	——	0.3
	镓（Ga）含量/（μg/kg） ≤	——	0.5
	锑（Sb）含量/（μg/kg） ≤	——	0.5
	铟（In）含量/（μg/kg） ≤	——	0.5
	钙（Ca）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	铬（Cr）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	铁（Fe）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	钾（K）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	钠（Na）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	镍（Ni）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	钼（Mo）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	锰（Mn）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	铜（Cu）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	镉（Cd）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	钴（Co）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	锌（Zn）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5
	钒（V）含量/（μg/kg） ≤	1	0.5

品牌：	华爱色谱
加工定制：	是
型号：	GC-9560-PDD

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