适合于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警
型号 | XP-703DIII |
---|---|
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 | 热线型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 (单位:ppm) |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
品牌: | 日本新宇宙 |
型号: | XP-703DIII |
加工定制: | 否 |
类型: | 便携式 |
测量对象: | 半导体材料气体 |
响应时间: | 10秒以内 |