Physik Instrumente 纳米定位平台/线性平台/微型平台


PI线性平台

PI提供多种多样的机动化线性平台。应用的多样性也意味着线性轴具有多种技术可
能性。行程从数毫米扩展至数米，精度等级从纳米级达微米级：PI使其驱动器、导
向或传感器技术适应于不同的应用条件。

大量不同的型号可提供真空版本。多轴组合可通过转接支架实现，利用匹配的Z向
位移台和转台还可实现更加紧凑的结构。

运动控制器可为台式设备、机架版本或紧凑型OEM设备。它们的共同因子是通过通
用指令集（GCS）进行指令控制，从而简化控制和编程，且不受驱动器类型的限制
。 

多轴工业应用中带ACS运动控制器的多轴系统可供货。对于精密和以运动为中心的
工业应用，其可实现利用现场总线接口进行简易集成。


PI V-508 PIMag精密线性平台


适应能力强
构造可实现需求的灵活适应。通过采用不同的行程、驱动器和测量系统，产品可同
样适用于技术复杂、临界成本应用。XY组件也可实现

交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，
它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交
叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持
架蠕变。

应用领域
工业和科研。半导体或医学技术中的测量技术、光子学及精密扫描


PI Mag磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至
运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。

无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生
不良作用。这样即使在*低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也
不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任
意设定。

力和加速度需要在有限安装空间内实现时，使用铁芯电机。铁芯设计使磁力*大化
，确保驱动器的高热稳定性。

直接位置测量
以极高的精度直接在运动平台上进行位置测量，因此非线性效应、机械作用或弹性
形变不会对位置测量造成影响。



PI L-306 紧凑型精密Z向位移台

紧凑型Z向位移台，用途广泛
带皮带驱动的折叠驱动，Z向位移台结构紧凑。可安装在带M6 50 毫米 × 50 毫米
连接间距的线性平台上（如L-406）。

位置测量
增量线性编码器（可选配步进电机）
非接触式光学参考和限位开关
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，
它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交
叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持
架蠕变。
驱动器
两相步进电机或闭环直流电机
空回补偿型滚珠丝杠
增量编码器用于高精度位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用
或弹性形变不会对测量造成影响。

应用领域
研究, 半导体技术, 光子, 自动化



PI C-663.12C885 Mercury Step步进电机控制器模块

高微步分辨率
高速运转电机（输出电压为48伏，工作电压可更低）
两相步进电机的闭环操作
支持外部传感器
ID芯片检测用于快速启动
用于两相步进电机的Mercury Step控制器模块
单轴 微步分辨率：1/2048全步。闭环操作。点对点运动，梯形速度曲线。高速运
转电机，工作电压可更低。

扩展功能
强大的宏指令语言。非易失宏存储， 例如可利用自动运行宏实现独立操作。数据
记录器。ID芯片用于快速启动。操作中的参数改变。广泛的软件支持，例如用于NI
LabVIEW、用于Windows和Linux的动态库。

接口
用于数字量（A/B）编码器信号的差动信号传输。用于限位和参考点开关的TTL输入
。用于索引开关的RS-422信号的输入。用于实现自动化的输入/输出线路（模拟/数
字量）。

C-885 PIMotionMaster中的即插即用装置。
可插入任何自由槽位。通过C-885的处理器和接口模块执行自动检测和外部通信
（USB、以太网）。可通过可选数字输入和输出进行扩展。通过C-885的电源提供动
力。




PI M-110 • M-111 • M-112 紧凑型线性平台

紧凑型线性平台，用途广泛
带皮带驱动的折叠驱动，线性平台结构紧凑。通光孔径直径为10毫米。XY装置可直
接安装，无需接装板。

位置测量
带直流齿轮电机的变型：电机轴上带旋转编码器。
非接触式霍尔效应参考和限位开关。


驱动器
两相步进电机或闭环直流齿轮电机
空回补偿型丝杠或滚珠丝杠
应用领域
精密微装配, 研究, 激光打标, 自动化, 光学对准


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