高负载物镜扫描器介绍

一、Physik Instrumente企业介绍

      在过去的五年中，PI（Physik Instrumente）已发展成为纳米定位技术的制造商。创业行为的关键要素和动机始终保持不变：为客户寻找*佳解决方案。

      PI以其产品质量而闻名，多年来一直是全球精密定位技术市场的企业之一。其中*重要的基石之一是国际 PI 家族内的团队精神，这种精神基于超越国界和功能限制的相互理解和支持。

PI 是一家健康成长的私营公司，在全球拥有 1000 多名员工，并且是一个灵活、垂直整合的组织，这使得 PI 能够满足创新精密定位技术领域的几乎所有要求。PI 的首要任务是成为客户可靠

且高素质的合作伙伴。

二、Physik Instrumente主营产品

       PI纳米定位压电挠性平台、PI微型舞台、PI线性平台、PI线性执行器、PI旋转台、PIXY平台、PI自动化工程系统等产品

三、PI产品主要应用领域

科学仪器、显微镜、硅光子学、半导体技术、医疗技术、机械工业、自动化行业、材料研究行业

四、主要型号及技术数据

PI P-726PIFOC高负载物镜扫描器介绍

       较大物镜的高动态定位和扫描

       谐振频率1120赫兹；560赫兹，物镜质量210克

       典型步进和稳定约为6毫秒

       行程100微米

       直接测量型电容式传感器带来*高线性度、稳定性和控制动态

       分辨率0.3纳米

      零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性

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       技术规格

       规格：P-726.1CD

       集成传感器：      电容式/直接测量

       行程，闭环：     100          微米

       分辨率，闭环：   0.4          纳米    典型值

       分辨率，开环：   0.3          纳米    典型值

       线性误差，闭环：0.02         %       典型值

       重复精度：         ±3           纳米    典型值

       倾斜θX、θY：    ±5           微弧度  典型值

       X、Y向上的串扰：50          纳米     典型值

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