产品参数： 抽速m³/h：9000 额定功率kw:1.5 吸/排气口kf:VG250/300 电压V：220
1.磁悬浮分子泵是为满足半导体刻蚀、离子注入、
薄膜沉积、太阳能光伏、锂电负荷集流体、真空镀膜、科学研究等领域开发的真空获得设备
2.磁轴承控制技术：为五自由度电磁轴承，利用国际先进控制理论，采用动态主动闭路磁浮控制技术，实现动态反应迅速、调节及时，保证高速运转轴系具有悬浮稳定、运转可靠等显著优点 
3.电机驱动控制技术：系列磁悬浮分子泵全部采用高效高速直流电机和伺服控制系统，使得电机能量转化*大化、轴系转速自动补偿，实现启动平稳、运转可靠、动态能量自动调节功能