维意真空PE-CVD等离子增强化学气相沉积镀膜设备

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￥178000.00

北京大兴区

北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司

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产品参数

整机尺寸：500×300×300（长×宽×高）mm
整机重量：35 Kg
反应舱规格：Φ165×L210 mm (耐热玻璃)
反应舱有效容积：4.5 L
输入电源：220 V／50Hz
整机输入功率：400 W
射频功率：0～150Ｗ（连续可调）
射频频率：13.56 MHz
常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等

整机配备所以必须的指示仪表装置及高性能真空泵，客户仅需提供所以工作气体！
操作相当方便，维护成本极低！！
所有关键技术均为自行研发！非组装产品！

功能：
• 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物（如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等）进行超清洗。
• 改变某些材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
• 清除金属材料表面的氧化层。
• 对被清洗物进行消毒、杀菌。

简介:
     国产系列等离子清洗(处理)器是一种非破坏性的表面处理设备，它是利用能量转换技术，在一定真空负压的状态下，以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体，气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗，在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走，其清洗能力可以达到分子级。
      在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质，所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。
      国产系列等离子清洗器是在国外等离子清洗器价格贵，难以推广等缺点的基础上，吸取了现有国内外等离子清洗器的优点，结合国内用户的使用需求，采用先进科技手段开发出的新型系列等离子清洗器。
      该产品除拥有其它等离子清洗器的优点外，更具有性能稳定、性价比高、清洗效率高、操作简便、使用成本极低、易于维护的优点。产品能适应不同用户对设备的特殊要求。清洗舱的材料有耐热玻璃和不锈钢可选择，不锈钢类清洗舱有圆形和方形可选择。仪器性能、整机规格和清洗舱的尺寸可根据用户的实际需要而特制。

优点：
• 具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。
• 对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行
   超清洗和改性。
• 完全彻底地清除样品表面的有机污染物。
• 定时处理、快速处理、清洗效率
高。
• 高朋硅耐热玻璃反应仓绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。
• 在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。

应用领域：

• 光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。
• 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
• 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。
• 清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体和宝石。
• 清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。
• 高分子材料表面的修饰。
• 封装领域中的清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘和。
• 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
• 涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性，使其活化，增强表
   面粘附性、浸润AAA性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量。
• 牙科领域中对钛制牙移植物和硅酮压模材料表面的预处理，增强其浸润性和相容性。
• 领域中修复学上移植物和生物材料表面的预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性。

品牌：	WAYES-VAC
型号：	PE-CVD
加工定制：	是
适用范围：	0.1Pa
电镀电源：	射频电源
镀膜材质：	金属氧化物
镀膜原理：	化学反应
镀种：	硅片