（一）、真空室及组件1套。

1）、

450*450*500主真空室（包括：不锈钢U型室及门法兰1套、XF100观察窗及接管1套、可装电极及接管的底法兰1套、CF150法兰座及接管1套、CF63法兰座及接管1套、CF35法兰座及接管2套、旋转及挡板法兰座1套、KF16接口1件）。

2）、

减速电机控制可旋转、定位及调速样品台1套。

3）、

外控样品台旋转档板1套。

4）、

金属及有机物蒸发源3套。（电极水冷）

5）、

外控蒸发源挡板3套。（电动磁力转轴）

6）、

带脚轮、支脚、围板机架1套。

（二）、真空获得1套。

1）、

真空室与插板阀连接管道1套（包括KF40预抽阀连接法兰）。

2）、

KF40手动高真空角阀2只。

3）、

CF150插板阀2只。

4）、

600升复合分子泵1套。

5）、

KF25手动高真空角阀1只。

6）、

KF40*1米前级不锈钢波纹管2根。

7）、

KF40四通通1只。

8）、

KF25*1.3米预抽不锈钢波纹管1根。

9）、

KF40压差阀1只。

10）、

合资6升机械泵1台。

11）、

KF16手动充气阀2只。

12）、

KF40卡箍9只。

13）、

KF25卡箍3只。

14）、

KF16卡箍3只。

（三）、电器控制1套。

1）、

1.6米机柜1套。

2）、

真空测量1套。（复合真空计）

3）、

蒸发加热控制电源3套（含变压器）。

4）、

旋转、阀门、照明及蒸发源挡板控制电源1套。

5）、

总控电源1套。

（四）、其余配件：

1）、

样品架2套

2）、

过渡真空室1套

3）、

磁力传送杆1套

4）、

膜厚仪1套。（注：水冷探头）

5）、

冷却水循环机1套

（五）、密封件及紧固件等。

（六）、设计调试及运输。