| 项目 | 测量范围 | 分辨率 |
| 驱动器 | 100mm | 0.2μm |
| 传感器 | ±420μm | 65536:1 |
| 立柱 | 320mm | - |
| 外形尺寸 | 1200*850*1780mm | - |
| 主机重量 | 320kg | - |
| 技术参数 | 线性精度 | ≤±(7nm+3.5%) |
| 残值噪声 | ≤0.012μm | |
| 重复性 | 1δ≤2nm | |
| 截止波长 | 0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8 | |
| 评定长度 | λcX2,3,4,5,6,7 | |
| 运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
| Z轴驱动方式 | 电动 | |
| X轴驱动速度 | 0.1-10mm/s | |
| Z轴驱动速度 | 0.5-10mm/s |
| 类别 | 部件名称 | 规格号 | 数量 |
| 主机部分 | 一体式标准机台 | cp-mp1 | 一套 |
| 经济型立柱 | cp-cn-sb | 一套 | |
| 标准驱动器 | cp-d-sspm | 一套 | |
| 无导头粗糙度传感器 | rs-ztr-ir-01 | 一套 | |
| 电器控制系统 | cp-mc | 一套 | |
| 信号处理系统 | cp-sip | 一套 | |
| 软件 | RMW | 一套 | |
| 附件 | 电脑 | cp-01 | 一套 |
| 打印机 | pr-1 | 一套 | |
| 标准调整台 | cp-br-150 | 一套 | |
| 精密正弦平台钳 | fq-4 | 一套 | |
| 工具箱 | tb-10 | 一套 | |
| 校正标准件 | 一套 | ||
| 粗糙度弹簧拆式直杆 | R-sq-1-12-61-s | 一支 | |
| 粗糙度测针 | R-1-12-90-5 | 一支 |
| 品牌: | 威尔 |
| 型号: | SR1133N-sak |
| 加工定制: | 否 |
| 类型: | 组合式 |
| 测量范围: | 100mm |
| 测量参数: | Ra、Rp、Rv、Rz等 |
| 取样长度: | 0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8 mm |
| 评定长度: | 2,3,4,5,6,7 mm |