INFICON Edge 电容膜片真空计是高精度真空测量仪器, 设计用于
严酷的制造环境. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供
卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Edge 附有 INFICON
专利的, 独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物
的侵袭. 先进的电子学为全部应用和可选的 以太网® 现场总线接口
提供许多可配置的讯号条件处理功能. 创新的加热概念使接触表面
可冷却和节省宝贵的工具空间. INFICON Edge 是同类中***小的真空
测量仪器.

典型应用：

• CVD, 刻蚀, PVD 和其它半导体生产过程数据存储和显示制造设备

• 小型, 节省宝贵的工具空间
• 易集成, 以太网, 大量的全量程和法兰配置, 标准型号带有两个设点
• 简易的一键按钮或运距讯号抑零指令, 零偏移调整
• 诊断口用于快速服务和维护
• 两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命.
• 由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要
• 兼容性和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS