产品概述

INFICON SKY CDG100D压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D真空计温度控制在100 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在100毫托至1000托满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供0至10V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

益处

• 拥有成本更低，预热速度快50%，节能，低功耗
• 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
• 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
• 诊断端口用于快速维修和维护
• 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
• 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是***苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
• 合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

• 用于刻蚀、CVD、PVD和其他半导体制造过程
• 化学和腐蚀性高温过程
• 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程