气体质量控制器
1、用途和特点
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。

质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）特点。操作使用方便，可任意位置安装，配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用，也可直接同计算机实现RS-232 连接，非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质量流量计使用。配合流量显示仪对气体的瞬时流量和累积流量进行精确测量和控制。
2、气体质量流量控制器的命名方法
本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94 、SJ37以及中华人民共和国国家计量技术规范JJF 1246-2010 所规定的通用技术条件和命名方法。本技术说明书为气体质量流量控制器的使用说明书。
3、主要技术指标:

注意:
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为:   SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为:         温度 ---273.15K ( 0℃ );
气压 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale):       满量程值