半导体等离子蚀刻机 高频电源小型真空清洗机
型号：PT-15S
*供电电源： AC220V
*工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
*射频电源功率： 0-600W
*射频频率： 40KHZ或13.56MHz选装 （偏移量小于0.2KHz）
*频率偏移量： 小于0.2KHz
*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
*真空度： 30Pa—100Pa
*气体流量： 10—100ml/min(可调)
*过程控制： MCU自动与手动方式
清洗时间： 1-99999秒钟可调
功率大小 10%-100%可调
内腔尺寸 200mm×150mm×400mm
*外形尺寸： PT-15S型_650*520*500
*重量： 45Kg
*真空泵： 2XZ-6
*真空室温度： 小于65°C
*冷却方式： 强制风