HORIBA S48-300气体质量流量控制器
质量流量控制器可以根据设定流量发送的电信号自动控制器气体流量,不受使用条件和气压的影响。
流量大致分为‘体积流量’和‘质量流量’。体积流量会受环境温度和压力的影响;试剂流量需要测量并计算压力和温度。质量流量受环境压力和温度的影响非常小,因此可以提供跟准确稳定的测量和控制。
HP[的质量流量控制器在工业领域广泛使用,在流量精确控制或自动生产线搭建中理想的可选设备。
测量原理
1.气体从进气口流经传感器和分流器
2.在传感器中,质量流量根据温度的变化,通过电桥转化成电信。
3.电信号通过放大电路和修正电路使四处为线性在0-5V之间,同时信号发送到比较控制电路。
4.比较电路通过比较流量设定信号和输出信号的差值趋于零。换句话说,控制电路控制流量一直与设备保持一致。
产品优势:
任意角度安装
S48模拟产品在设备的不同位置及角度安装时,对气体流量变化几乎没有影响,打破了传统MFC的安装条件限制。
高精度响应快
S48模拟产品使用了现金的多段线性调整基数,使流量控制精度更加精确,实现良好的量程比。响应时间1秒以内,提高工艺与实验的水平和精度。
可自动调零
质量流量控制器(流量计)由于环境的变化和长时间的使用,可能出现零点偏移的情况,为了得到更高的流量控制精度需要对零点进行修正,S48模拟产品具备自动调零功能。当零点偏移时,可以自动调整零点。
技术参数:
产品尺寸: