等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场+电子→高能电子；
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
等离子废气净化器安装规范：
1、输入电源须与净化器所用电源相符，严禁输入电源与净化器所用电源不符，且净化器箱体须接地，以确保案例；
2、等离子净化设备进风口须安装变径导风分流管（内设百叶式分流片，每片间距100mm)，使废气平均分布进入净化器的各处理室，提高净化器使用率和处理效果；
3、在安装净化器须留有足够空间用来打开净化器的门舱和电控盖，方便维护，检修及清洗；
4、为确保安全，净化器安装在室外，须对净化器的电控电源加盖保护，以防雨水及阳光损坏电控电源而导致发生事故；
5、等离子净化设备需拆散搬运安装时，须由人员根据原有装配规范操作组装，严禁有杂物或沙尘进入内部处理室，并检查内部件是否牢固；
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