洁净真空
工作腔内无润滑油，零污染；工艺气体回收利用率高；尾气处理方便，降低使用安全风险和运行成本
冷却性能
采用夹套冷却，使用少量循环水，即可稳定的运行
使用工况
宜抽取可凝性、腐蚀性、易燃易爆、易结晶、易凝固等气体，适用于各种恶劣的工况
稳定可靠
多级螺旋式转子，取消中隔板结构，无中间级吸排气结构，工作过程简单、连续、效率高
易维护
转子无接触、无磨损，结构简单，零件少，维护方便，整机寿命长
适应性强
进气压力在1Pa至大气压均能正常工作，可与罗茨泵、分子泵等组合，可作为前级泵使用，抽气效率高

应用行业
化工，光伏，制药，汽车，锂电池，香料，冶金系统，航空航天，镀膜，科研院所，新能源，半导体

光伏发电-清洁能源、汽车行业-机密制造、冶金行业-材料加工、锂电池-新能源