洁净真空
工作腔内无润滑油,零污染;工艺气体回收利用率高;尾气处理方便,降低使用安全风险和运行成本;
冷却性能
采用夹套冷却,使用少量冷却循环水,即可稳定的运行;
使用工况
宜抽取可凝性、腐蚀性、易燃易爆、易结晶、易凝固等气体,适用于各种恶劣的工况
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稳定可靠
多级螺旋式转子,取消中隔板结构,无中间级吸排气过程,工作过程简单、连续、效率高;
易维护
转子无接触、无磨损,结构简单,零件少,维护方便,整机寿命长;
适应性强
进气压力在1Pa至大气压均能正常工作,可与罗茨泵、分子泵等组合,可作为前级泵使用,抽气效率高。