单晶炉用干式螺杆真空机组
DRY SCREW VACUUM UNIT FOR SINGLE CRYSTAL FURNACE

性能优势 Performance Advantages
无油气污染工艺设备,可获得清洁零件表面;
被抽气体不会被污染,尾气可进行回收利用;
无油气、油烟等有害气体的排放,有利于环境保护;
避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性;
可单独使用,进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作,抽气效率高,可大幅简化抽真空系统;
机组可作为前级泵使用,与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组,以获得更大的抽速与更高的真空度;
转子间无接触、无磨损，零件损耗小,使用寿命长;
泵腔内采用间隙密封，对少量粉尘不敏感;
智能控制模式,实时监测设备运行状态,并针对异常情况作出报警;
模块化设计，整机体积小，方便移动;
可变频运行，节能效果好;
采用一体化水冷电机设计,运行噪声低,震动小。