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HORIBA SEC-4400流量计

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产品参数

高可靠性和精度的流量控制器
快速的响应时间
金属密封.
压电控制阀.
316L不锈钢材质.
5 ccm-100 slm流量
技术规格:

Model	SEC-4400	SEC-4500	SEC-4550	SEC-4600
StandardFlow Range(N2 Eq.)	5 sccm ~ 8 slm	10 ~ 30 slm	31 ~ 50 slm	51 ~ 100 slm
Wetted Materials	M (metal) -Type: SUS-316L-R (viton) type
Valve Piezo Valve	(Normal Close or Normal Open)
FlowControl Range	2 ~ 100% F.S.
Accuracy	± 1% F.S.
Response	<1.0sec. (500ms typical)
Linearity	± 0.5% F.S.
Repeatability	± 0.2% F.S.
Operating Pressure	14 ~ 42 psi			21 ~ 42 psi
Leak Integrity	M-Type: 5x10 -10 Pa·m ³/s(He) or less
Operating Temperature	5 ~ 50 °C (Accuracy guaranteed 15 ~ 35 °C)
Flow Rate Setting Signal	0.1 ~ 5VDC
Flow Rate Output Signal	0 ~ 5VDC
Power Supply	± 15VDC ± 5% 60mA
Standard Fitting	1/4” VCR, 1/4” Swagelok			3/8”VCR,3/8”Swagelok

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