Maru 7000PI Mass Flow Controller
Digital MFC For Semiconductor Equipment
数字型质量流量控制器(πMFC)
电解抛光表面处理
压力不敏感式
快速响应时间和高精确度
数字通讯:RS485或DeviceNet
品牌: | MKP |
型号: | MARU 7000PI |
加工定制: | 否 |
类型: | 热式 |
测量精度: | ≤±0.25%满量程(5%-25% Flow R |
测量范围: | 5-50slm |
适用范围: | 2%-100%满量程 |