InficonMAG470INFICON英福康冷阴极电离真空规

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四川成都

成都四洋科技有限公司

1年

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产品参数

冷阴极电离真空规
INFICON冷阴极电离真空规MAG470，测量范围为5 × 10^-¹¹mbar到1 × 10^-2mbar
(3.8 × 10 ^-11 Torr 到 7.5 × 10 ^-3 Torr)。
优势
· 没有烧坏的灯丝
· 加长版，传感器输出温度可达250℃
· 优异的点火性能
· 易清洗
· 金属密封通道
· LED高电压指示灯
· 对数模拟输出信号
应用
· 超高真空压力监测
· 蒸发和溅射系统的基本压力
· 中高真空范围内的通用真空测量与控制
规格

		MAG470 MAGA470扩展
测量范围（空气，氮气)	mbar (Torr)	5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3)
精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar	%	≈±30%
重复性1×10 -9…1×10 -3mbar	%	≈±5%
安装方位		不限
容许压力	Bar（绝对）	≤10（限于惰性气体）
容许温度操作（环境）储存输出	℃ ℃ ℃	+5 … +55 –40 … +65 2501)(扩展版 2)
电源电压标准 *大供电量 3 电压频率	V (dc) V (dc) Vpp	+15…+30 +16…+30 ≤1
耗电量	W	≤2
保险丝连接	AT	≤1
输出信号（测量信号）电压范围测量范围	V V	0…+10.5 +1.96…+8.6
相对压力误差	V	对数, 0.8 V/decade <0.5 (无供应)
输出电阻 *小负载电阻	Ω KΩ	2 × 10 10、防短路
响应时间 p>10-6mbar p=10-8mbar	MS MS	<10 ≈1000
识别量规	KΩ	7.15，供参考使用
电气连接传感器电缆电缆长度	M	FCC 68电器连接器，8极，内螺纹 8极加屏蔽 ≤50(8×0.14mm2)
工作电压工作电流	kV μA	≤3.3 ≤100
暴露于真空中的材料		不锈钢，氧化铝，银，
内部容积	cm³	≈20
重量 DN 40 CF-F	g	≈950≈1100
保护类别		IP 40
标准		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

品牌：	Inficon
型号：	MAG470
加工定制：	否
测量范围：	3.8 × 10 -11 Torr 到 7.5 × 1
测量精度：	±30%
重复性：	±5%
电源：	+15到+30V
用途：	高真空测量

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