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INFICONCDG100D电容膜片式真空计3CD1-95E-230B
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四川成都
成都四洋科技有限公司
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Inficon CDG100D电容膜片式真空计 3CD1-95E-230B
 
INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的*佳选择. CDG100D真空计是在 100°C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子程中具有卓越的性能.可供应的真空包括全量程范 100 毫乇至 1000 , 具有全部常用的法兰号和现场总线接口和提供线 0 10 , 与气体类型无关的压强讯. INFICON 容真空计采用抗腐蚀的超氧化陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超的使用寿命. INFICON CDG 是高质, 高效益的压强传感器用于高要求的半,等离子和真空应.
 
优势:
 
有成本低, 预热 50%, 能效高,低功耗
易集成,全的全量程, 法兰和接口, 准型号有两个设
易的一或运距零指令,零点偏移可调
断口用于快速服务维护
两年保用期,有先的加概念和真空长使用寿命
由于卓越的讯定性和再, 即使在严酷的等离子
用中也无期再校准的需要
兼容性和标: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
 
用途:
刻蚀, PVD, CVD 和其它半导
化学和腐蚀性的高温
一般薄膜和真空过程要求的真空计
订货号:
Inficon CDG100D电容膜片式真空计 3CD1-95E-230B
 
品牌:INFICON
型号:3CD1-95E-230B
加工定制:
测量范围:10
测量精度:0.1
测量误差:0.1
电源:0至 10 伏
用途:真空测量
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