在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，*后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；
     同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。 
     由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。 
     同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。 
    水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。 因此，水蒸气，油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。
1、水汽捕集器
它的制

冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。  

2、低温冷阱
    放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
永佳真空深冷机不同型号规格

型  号               ZK-1100D12     ZK-1100D16    ZK-1100D16L   ZK-1100D18     ZK-1100D18L
功率（KW）               10               14           14             18             18
*大制冷量（W）（-100℃）2000       3000           3000         4000            4000
电  源                                      380V，50HZ
抽速L/S                149200          238200        238200       372500          282000
预冷时间（min）                                  30
除霜时间（min）          ≤3             ≤3          ≤3           ≤4              ≤4
再降温时间（min）        ≤3             ≤3          ≤3           ≤3              ≤3
低温管表面积（㎡）        1              1.8          1.5           2.5               2
低温管规格               20m             38m         双路15m        50m            双路20m
冷却方式                                  水冷，水温≤30℃
冷水流量（t/h）          1.6             2.5          2.5           3                 3
冷水接口尺寸（mm）        16             16           16            19                19
需冷水机功率（HP）         5              8             8            10                10
适用油泵直径（mm）      ≤800          ≤900         ≤600       1000或1200          ≤800
适用真空腔室直径（mm）  ≤1300         ≤1500        ≤1000         ≤1800           ≤1500