1030nm,515nm,343nm，<350fs-1ps脉宽可调，FemtoLux30飞秒激光器
立陶宛EKSPLA FemtoLux 30飞秒激光器还可称为30W工业级飞秒激光器，其从设计之初就注重提供高可靠性，采用了“干式”冷却技术并无缝集成到激光器，实现无间断的24/7/365零维护运行。
工业fs激光器FemtoLux 30波长是1030nm,515nm和343nm，这款1030nm,515nm,343nm飞秒激光器具有可调脉冲持续时间，范围从<350 fs至1ps，在宽范围内以AOM控制脉冲重复率，实现单脉冲到4MHz的高重頻输出。1030nm,515nm,343nm飞秒激光器在单脉冲模式下，*大脉冲能量超过100μJ。而在burst mode下，则可达实现450µJ以上的输出能量，确保适应不同材料，并实现更高烧蚀率和加工吞吐量。
FemtoLux30飞秒激光器优异的光束参数能够满足苛刻的材料和微加工应用的需求。先进的激光控制模块拥有强大的通信交互能力，配备几乎所有常见标准协议，外部控制器可以非常便捷的控制FemtoLux 30激光器。这些控制可以在不同的平台上运行，无论是Windows、Linux还是其他使用REST API命令的平台。这让设备集成变得简单，大大减少了将这款EKSPLA激光器/FemtoLux30飞秒激光器集成到微加工设备中所需的开发时间和人力资源。
带倍频模块的EKSPLA工业级飞秒激光器1030nm/515nm/343nm FemtoLux 30激光头和电源图示
1030nm,515nm,343nm飞秒激光器FemtoLux30的主要特性：
- *大输出功率(典型值)：30W at 1030nm, 11W at 515nm, 6W at 343nm
- *大输出能力(典型值)：>100µJ at 1030nm, >55µJ at 515nm, >30µJ at 343nm
- HE高能量版本可定制(1mJ at 10kHz)
- MHz, GHz, MHz+GHz burst多种模式可定制
- >450µJ单个burst能量
- <350fs–1ps
- 单脉冲到4MHz(AOM控制)
- Pulse-on-demand(PoD)，超低抖动20ns(峰-峰)
- <0.5% RMS长期功率稳定性(>100小时)
- M²<1.2，光斑圆度>0.85
- 0维护需要，干式冷却(全面无水)
1030nm,515nm,343nm飞秒激光器FemtoLux30的应用：
- 玻璃，蓝宝石，陶瓷材料，精密微加工
- 微电子制造
- 玻璃内部构造
- 各类聚合物，金属微加工
- LCD，LED，OLED钻孔切割修复
工业fs激光器FemtoLux 30的无缝式用户体验：
- 轻松集成–RS232，LAN或其他标准接口，通过REST API进行远程控制
- 减少集成时间–demo包，源代码，开放式提供
- 安装简易快捷–无水“干式”设计，激光头可完全拆卸分离，用户可以自行安装
- 故障排查便捷–内部集成探测器，实时记录状态日志
- 无需周期维护
工业fs激光器FemtoLux 30(1030nm/515nm/343nm)的主要指标1)：
| 型号 |
FemtoLux 30 |
| EKSPLA激光器FemtoLux 30主要指标 |
| 中心波长 |
基频 |
1030nm |
| 二倍频 选项 |
515nm |
| 三倍频 选项 |
343nm |
| 脉冲重复频率(PRR)2) |
200kHz–4MHz |
| 脉冲重复频率(PRF)选单器后 |
PRF=PRR/N, N=1,2,3,…,65000;单脉冲 |
| 平均输出功率 |
at 1030nm3) |
>27W(典型30W) |
| at 515nm |
>11W4) |
| at 515nm |
>6W4) |
| 脉冲能量 |
at 1030nm |
>100µJ或1mJ5) |
| at 515nm |
>55µJ4) |
| at 515nm |
> 30µJ4) |
| MHz burst内部脉冲数量6) |
2–10 |
| *大burst能量7) |
>450µJ |
| 功率长期稳定性(Std. dev.)8) |
<0.5% |
| 脉冲能量长期稳定性(Std. dev.)9) |
<1% |
| 脉冲宽度(FWHM)@1MHz |
tunable,<350fs10)–1ps11) |
| 脉冲宽度调节范围(可选配) |
tunable, up to 1ns |
| 光束质量 |
M2<1.2(典型<1.1) |
| 光斑圆度, 远场 |
>0.85 |
| 光束发散角(远场) |
<1mrad |
| 光束指向热稳定性 |
<20µrad/°C |
| 光斑直径(1/e2)@1030nm |
2.5±0.4mm@65cm |
| 偏振方向 |
竖直线偏振 |
| 触发模式 |
internal/external |
| 脉冲输出控制 |
frequency divider, pulse picker, burst mode, packet triggering, power attenuation, pulse-on-demand12) |
| 通信接口 |
RS232/LAN |
| 脐线长度 |
3m, detachable. Custom length option available |
| 激光头冷却方式 |
干式冷却(直接制冷剂制冷-可分离式) |
| 物理参数 |
| 激光头(宽×长×高) |
434×569×150mm |
| 电源尺寸(宽×长×高) |
449×496×184mm |
| 环境参数 |
| 供电要求 |
100–240V AC, 单相50/60Hz |
| *大功耗 |
800W |
| 环境温度 |
18–27°C |
| 相对湿度 |
10–80%(无冷凝) |
| 空气等级 |
ISO 9(room air) or better |
1)由于不断改进，所有规格如有变更，恕不另行通知。标有典型值的参数并非规格，是典型性能的指示，会随生产的每台设备而变化。所有参数均针对*短脉冲持续时间，除非另有说明，否则所有规格都是在1030nm波长下测量的，且为不含选件的基本系统
2)当分频器设置为每个脉冲都发射时，完全由集成的AOM控制
3)At 1MHz
4)At 200kHz
5)其他可用的能量和重复频率组合
6)振荡器频率~50MHz，脉冲间隔~20ns
7)MHz突发模式或MHz+GHz突发模式，PRR为50kHz
8)在恒定环境条件下预热 100 小时以上
9)在恒定的环境条件下
10)当PRR>500kHz 时，在PRR<500kHz时，*短脉冲持续时间<400fs
11)可根据要求定制脉冲持续时间。例如，可提供固定的50fs
12)可选功能。抖动<20ns，触发到脉冲延迟<1µs
立陶宛EKSPLA工业级飞秒激光器1030nm/515nm/343nm的性能曲线
图1(左图)：EKSPLA激光器FemtoLux 30功率,脉冲能量/重频曲线,1030nm
图2(右图)：FemtoLux 30飞秒激光器功率,脉冲能量/重频曲线,515nm
图3：EKSPLA激光器FemtoLux 30功率,脉冲能量/重频曲线,343n
图4：30W工业级飞秒激光器FemtoLux 30功率,脉冲自相关函数,1030nm
图5：典型M² FemtoLux 30工业级飞秒激光器,1030nm
图6：典型pulse-to-pulse能量稳定性,FemtoLux 30 200kHz,30000脉冲
图7：FemtoLux 30激光器长期稳定性测试,1030 nm,25,000小时
图8：FemtoLux 30激光器典型功率稳定性曲线(1030nm)
图9：30W工业级飞秒激光器FemtoLux 30在苛刻环境下光束指向性变化
图10：30W工业级飞秒激光器FemtoLux 30在自然环境温度下功率稳定性
立陶宛EKSPLA工业级飞秒激光器1030nm/515nm/343nm产品图纸：
图
11：
FemtoLux30飞秒激光器视图
图
12：
FemtoLux 30带倍频模块激光头视图
图13：FemtoLux30飞秒激光器的电源视图
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