十万级洁净室真空吸尘系统CVP粉尘处理设备

真空吸尘系统核心构成与关键要求
一个合格的十万级洁净室CVP系统应包括以下部分： 1. 动力单元（主机）
位置：必须安装在洁净室外的技术夹层或设备区。

电机：通常使用无刷电机，更耐用、节能、干扰小。需要有足够的功率以维持整个管道系统末端的吸力。

材质：外壳 为不锈钢或喷塑碳钢，耐腐蚀，易清洁。

2. 粉尘分离与过滤系统（核心处理设备）
这是技术的重中之重，通常采用多级过滤：

一级分离：旋风分离器。大部分（95%以上）的粉尘和较大颗粒在此通过离心力被分离并收集到主收集桶中，减轻后端过滤器的负荷，延长其寿命。
真空吸尘系统
二级过滤：主过滤器。通常采用PTFE覆膜的高效滤袋或 cartridge 过滤器，效率可达99.9% @ 1μm。它能捕捉通过旋风分离器的较细颗粒。

三级过滤：终端高效过滤器（HEPA/ULPA）。这是保证排气不污染环境的 一道屏障。

对于十万级洁净室，排气端必须至少配备H13级别的HEPA过滤器，对0.3μm颗粒的过滤效率达到99.97%。确保从系统排出的空气比洁净室本身的空气更洁净。

3. 管道网络
材质：必须使用304或316不锈钢管或高质量的抗静电PVC管。内壁光滑，无死角，不易积尘。

安装：所有焊接和连接处需要光滑处理，管道需有一定倾斜度，便于粉尘输送。

4. 洁净室内吸入口阀座
设计：带有密封盖，不使用时应保持关闭，防止空气倒流和污染。

材质：不锈钢或高级工程塑料，表面光滑，无清洁死角。

接口：通常采用快速接口，方便连接软管和工具。

5. 吸尘工具套装
材质：不锈钢或抗静电塑料制成，不会产生颗粒和静电。

类型：包括不同宽度的地坪刷、缝隙吸嘴、防静电软管等。刷头通常采用包边设计，避免刮伤地面。

十万级洁净室真空吸尘系统CVP粉尘处理设备