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德国 Diener 等离子清洗机 FEMTO 精密型小型腔体2.2L
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上海奉贤区
旭阿科技(上海)有限公司
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图文详情
产品参数
等离子清洗机FEMTO
等离子工艺除清洗与活化外,还具有蚀刻与涂层
的功能。可以应用于多种领域。
硅蚀刻
PTFE
蚀刻
去除光刻胶
提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
疏水层的沉积
亲水层的沉积
保护或绝缘层的沉积
防扩散层
主要技术参数:
全自动控制
*
根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量,时间等参数
单路工作气体,气体流量通
MFC
流量计控制
反应舱为不锈钢,
Ø100 mm*L278mm
,容积约为
2.2L
射频频率
13.56MHz,
功率
0~100W
电极材质为铝
/
不锈钢
运行模式为手动
真空泵的排气能力为
4m3/Hour
,配有强制进气阀
*
配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
外尺寸:
W310*D420*H330mm
电源电压:单相
AC230V 16A
加工定制:
否
品牌:
Diener
型号:
FEMTO
用途:
工业用
工作频率:
13.56MHz
工作电压:
220 v
功率:
100 w
规格:
FEMTO
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