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德国 Diener 等离子清洗机 FEMTO 精密型小型腔体2.2L
1.00
上海奉贤区
旭阿科技(上海)有限公司
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  • 产品参数
等离子清洗机FEMTO
等离子工艺除清洗与活化外,还具有蚀刻与涂层
的功能。可以应用于多种领域。
  • 硅蚀刻
  • PTFE蚀刻
  • 去除光刻胶
  • 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
  • 疏水层的沉积
  • 亲水层的沉积
  • 保护或绝缘层的沉积
  • 防扩散层



主要技术参数:
  1. 全自动控制
  2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量,时间等参数
  3. 单路工作气体,气体流量通MFC流量计控制
  4. 反应舱为不锈钢,Ø100 mm*L278mm,容积约为2.2L
  5. 射频频率13.56MHz,功率0~100W
  6. 电极材质为铝/不锈钢
  7. 运行模式为手动
  8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour,配有强制进气阀
  9. *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
  10. 外尺寸:W310*D420*H330mm
  11. 电源电压:单相AC230V 16A
 
 
加工定制:
品牌:Diener
型号:FEMTO
用途:工业用
工作频率:13.56MHz
工作电压:220 v
功率:100 w
规格:FEMTO
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