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CIF实验室型等离子清洗机|真空等离子表面处理设备CPC-FMplus
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上海奉贤区
旭阿科技（上海）有限公司
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  • 产品参数
产品型号：
CPC-FMplus
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
  1. 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。
  2. PLC控制整个清洗过程，全自动清洗。
  3. 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制良好。
  4. 气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。
  5. 316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
  6. 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
  7. 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
三、设备参数
  1. 发生器频率：13.56 MHz
  2. 功率：0-150 W无极可调
  3. 匹配器：自动匹配
  4. 激发方式：电感式或电感耦合（可选）
  5. 气体控制：质量流量计（MFC）或浮子流量计（可选）
  6. 舱体尺寸：D200xΦ155 mm
  7. 舱体材质：不锈钢或石英玻璃
  8. 舱体容积：3.8-5 L
  9. 有效处理尺寸：L200xW155 mm
  10. 时间设定：9999秒
  11. 真空泵：抽速4 m³/h
  12. 气体稳定时间：1分钟
  13. 真空度：100 pa以内
  14. 电源：AC220 V 50/60 Hz  766/316 W
  15. 产品尺寸：L440xW410xH455 mm
  16. 包装尺寸：L560xW560xH685 mm
  17. 整机重量：32 kg
加工定制：是
品牌：CIF
型号：CPC-FMplus
用途：工业用
工作频率：13.56MHz
工作电压：220 v
功率：0-150 W无极可调 w
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