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CIF实验室型等离子清洗机|真空等离子表面处理CPC-10plus
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上海奉贤区
旭阿科技（上海）有限公司
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  • 产品参数
产品型号：
CPC-10plus
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
  1. 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。
  2. PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
  3. 石英真空舱，真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
  4. 采用质量流量计，实现对气体输入控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
  5. HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
  6. 60度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
  7. 顶置真空舱，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。
  8. 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
  9. 上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。
  10. 有效清洗面积大，可清洗*大直径8吋硅片。
  11. 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
三、设备参数
  1. 发生器频率：13.56MHz
  2. 功率：0-300 W无极可调
  3. 匹配器：自动匹配
  4. 激发方式：电容式
  5. 气体控制：质量流量计（MFC）或双浮子流量计
  6. 舱体尺寸：L300×Φ215 mm
  7. 舱体材质：不锈钢或石英玻璃
  8. 舱体容积：10.8 L
  9. 有效处理尺寸：L300×W215 mm
  10. 时间设定：9999秒
  11. 真空泵：抽速8 m³/h
  12. 气体稳定时间：1分钟
  13. 真空度：100 pa以内
  14. 电源：AC220 V 50/60 Hz  766/466 W
  15. 产品尺寸：L645×W550×H495 mm
  16. 包装尺寸：L750×W700×H720 mm
  17. 整机重量：55 kg
加工定制：是
品牌：CIF
型号：CPC-10plus
用途：工业用
工作频率：13.56MHz
工作电压：220 v
功率：0-300 W无极可调 w
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