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CIF实验室型等离子清洗机|真空等离子表面处理|表面活化CPC-10M
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上海奉贤区
旭阿科技(上海)有限公司
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图文详情
产品参数
产品型号:
CPC-
10M
一、
应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、
LED
、微流控、光电太阳能、生物医学等领域,主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、
设备特点
7
寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,
20
个配方程序,工艺数据可存储追溯。
PLC
工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
石英真空舱,真空管路系统采用
316
不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
采用质量流量计,实现对气体输入控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
HEPA
高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
60
度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。
采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
上置式
360
度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
有效清洗面积大,可清洗*大直径
8
吋硅片。
安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
三、
设备参数
发生器频率:
40KHz
功率:
0-600
W
无极可调
匹配器:自动匹配
激发方式:电容式
气体控制:
质量流量计(
MFC
)或双浮子流量计
舱体尺寸:
L300
×Φ
215 mm
舱体材质:不锈钢或石英玻璃
舱体容积:
10.8
L
有效处理尺寸:
L300
×
W215
mm
时间设定:
9999
秒
真空泵:抽速
8
m
³
/h
气体稳定时间:
1
分钟
真空度:
100
pa
以内
电源:
AC220
V 50/60
Hz 752/452
W
产品尺寸:
L645
×
W550
×
H495
mm
包装尺寸:
L750
×
W700
×
H720
mm
整机重量:
55
kg
加工定制:
是
品牌:
CIF
型号:
CPC-10M
用途:
工业用
工作频率:
40 KHz
工作电压:
220 v
功率:
0-600 W无极可调 w
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