CIF紫外臭氧清洗机/表面清洗设备UVO-5/9/13

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产品参数

产品型号：
UVO-5/9/13
紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗机系列产品采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调，可选加热控温，以便达到良好清洗效果。
一、紫外臭氧清洗机原理
通过紫外灯发出适当强度的185nm和254nm波长高能紫外线破坏有物分子(污染物)。185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(O2)分解成臭氧(O3)，而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和原子氧(O)， 254 nm紫外线同时激发表面的有机物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中，生成的活性原子氧(O)与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应，生成挥发性气体(如CO2，CO, H2O,NO等)逸出材料表面，从而清除粘附在材料表面上的碳和有机污染物，达到清洗的目的。
二、应用领域
u 石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板,等离子电视屏幕,彩色过滤片,光罩,棱镜,透镜,反射镜,平板电视等。
u 微电子产品的表面清洗：微型马达轴,磁头驱动架,光盘,光电器件,手机摄像头,微型喇叭/受话器震膜,半导体硅片,掩膜版。
u 精密集成电路的表面清洗：液晶显示器ITO,精密电路板,软性电路板接头,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金属基板的清洗,BGA基板与粘结垫的清洗。
u 在胶粘接或是印刷之前，对高分子聚合制品的表面改性：橡胶粘接，塑料汽车部件，透镜保护膜,塑料薄膜,树脂成型空气袋,IC包装,注射针接合部分的表面性,介入导管的表面改型等。
u 科研过程的表面清洗及处理：半导体，生物芯片，纳米材料，聚合物，光化学等。
三、设备特点
u UVO基础型系列采用可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，设置显示计时时间及加热温度。
u 自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
u 数字显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
u 任何时间可以手动中断处理过程。
u 自动记录之前清洗参数设置。
u 样品台可控温（可选），控温范围RT-200℃，控温精度0.1℃。
u 顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。
u 上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
u 样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。
u UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。
u 高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
u 可累计计时UV格栅灯使用时长，更换提示。
u UV反射罩（长X宽）比UV格栅灯大25mm。
u 双重安全保护，带有安全锁，当清洗腔打开时，系统自动关掉UV灯，并有灯光通断提示。
u 带进&出气口双气路设计。
u 可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。
u UVO5可选外置臭氧中和器，UVO9、UVO13系列可选外置或者内置臭氧中和器，用于臭氧清除。
u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
四、设备参数

产品型号	UVO5/UVO5P /UVO5T	UVO9/UVO9P /UVO9T	UVO13/UVO13 P/UVO13T
UV灯尺寸	130x130mm	230x230mm	330x330mm
样品台高度	0-50mm可调	0-50mm可调	0-50mm可调
电源	AC220V 50/60Hz 140/190/690W	AC220V 50/60Hz 140/190/690W	AC220V 50/60Hz 140/190/1160W
外型尺寸	L260xW320 xH200mm	L370xW470 xH200mm	L465xW575 xH200mm
包装尺寸	L375xW470 xH390mm	L490xW600 xH320mm	L575xW680 xH320mm
整机重量	8kg	15kg	18kg

注：UVO型基础型样品台不带加热功能，样品台高度可调；UVOP可选配样品台加热功能，样品台高度可调；UVOT标配样品台加热功能，样品台高度可调。可选臭氧中和装置。

品牌：	CIF
型号：	UVO-5/9/13
加工定制：	是
托盘高度调整范围：	0-50mm
主要波长：	185/254 nm