








| 型号 | VGB3 | VGB3Plus |
| 舱体尺寸 | D200XΦ155mm | D200XΦ155mm |
| 舱体容积 | 3.8L | 3.8L |
| 舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 |
| 射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
| 匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
| 激发方式 | 电容式或电感 | 电容式 |
| 射频功率 | 0-500W可调 | 0-150W可调 |
| 气体控制 | 双浮子流量计(标配) | |
| 有效处理尺寸 | L200xW155mm | |
| 时间设定 | 9999秒 | |
| 真空泵 | 抽速4m³/h | |
| 气体稳定时间 | 1分钟 | |
| 真空度 | 100pa以内 | |
| 电 源 | AC220V 50/60Hz 666/316W | |
| 舱体尺寸 | L235xW345xH245mm | |
| 控制尺寸 | L330xW490xH190mm | |
| 包装尺寸 | L450xW640xH690mm | |
| 整机重量 | 25kg | |
| 品牌: | CIF |
| 型号: | VGB3/VGB3Plus |
| 加工定制: | 是 |
| 外形尺寸: | L235xW345xH245 mm |