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CIF40KHz/13.56MHz手套箱专用等离子清洗设备VGB3/VGB3Plus
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上海奉贤区
旭阿科技(上海)有限公司
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  • 产品参数
产品型号:
VGB3/VGB3Plus
VGB系列手套箱专用等离子清洗设备,优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便,性能稳定,实用性强,容易维护。
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域,主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、技术参数
型号 VGB3 VGB3Plus
舱体尺寸 D200XΦ155mm D200XΦ155mm
舱体容积 3.8L 3.8L
舱体材质 不锈钢 不锈钢
射频电源 40KHz 13.56MHz
匹配器 自动匹配 自动匹配
激发方式 电容式或电感 电容式
射频功率 0-500W可调 0-150W可调
气体控制 双浮子流量计(标配)
有效处理尺寸 L200xW155mm
时间设定 9999
真空泵 抽速4m³/h
气体稳定时间 1分钟
真空度 100pa以内
AC220V 50/60Hz  666/316W
舱体尺寸 L235xW345xH245mm
控制尺寸 L330xW490xH190mm
包装尺寸 L450xW640xH690mm
整机重量 25kg
品牌:CIF
型号:VGB3/VGB3Plus
加工定制:
外形尺寸:L235xW345xH245 mm
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