P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZ*大370μm的高速扫描,*大通光孔径为Ø35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
1~3维扫描台
P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
应用实例-纳米光刻
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动,从而优化镜片读取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动,可以实现*大370μm的扫描范围,运动直线性好,可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用独特的结构设计,具有大刚度、大出力、大承载等特点,*大承载达3.5kg,空载谐振频率达600Hz,配套芯明天大功率控制器响应时间*高可达5ms,是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。