








| 型号 | 子孔径数 | 微透镜间隔(µm) | 光瞳直径(µm) | 采样频率 (Hz) |
*大采样频(Hz) | 倾斜和离焦(µm) | 重复性 (nm) |
光谱范围 |
| SHCMOS | 50 x 50 | 96.6 | 4.83 | 119 | 477 | 62/15 | 2 | 可见光 |
| SHCMOS fast | 64 x 64 | 112 | 7.17 | 1730 | 28140 | 96/24 | 2 | 可见光 |
| SHEMCCD | 16 x 16 | 192 | 3.07 | 1004 | 1838 | 13/3 | 2 | 可见光 |
| SHEMCCD fast1 | 24 x 24 | 192 | 4.61 | 2067 | 2067 | 32/8 | 2 | 近红外 |
| SHInGaAs fast1 | 64 x 64 | 120 | 7.78 | 690 | 9596 | 123/30 | 2 | 近红外 |
| 子孔径ROI | 8x8 | 10x10 | 15x15 | 16x16 | 19x19 | 23x23 | 31x31 | 50x50 | 63x63 |
| 配置DM成环时 | DM69 | DM97 | DM192 | DM241 | DM292 | DM468 | DM820 | / | DM3228 |
| SHCMOS采样频率 延迟 |
477Hz 5000µs |
417Hz 5000µs |
317Hz 5000µs |
302Hz 5000µs |
266Hz 5000µs |
229Hz 5000µs |
179Hz 5000µs |
118Hz 5000µs |
n/a |
| SHCMOS fast采样频率 延迟 |
28140Hz 10.7µs |
22080Hz 11.2µs |
14660Hz 12.48µs |
13010Hz 12.79µs |
10020Hz 13.78µs |
8000Hz 15.30µs | 5220Hz 18.9µs |
2620Hz 31.1µs |
1730Hz 42.2µs |
| SHEMCCD采样频率 延迟 |
1838Hz 69µs |
1004Hz 68µs |
1004Hz 64.8µs |
1004Hz 64.2µs |
n/a | n/a | n/a | n/a | n/a |
| SHInGaAs fast 采样频率 延迟 |
9590Hz 23.3µs |
6510Hz 23.1µs |
4760Hz 22.9µs |
4760Hz 22.8µs |
3650Hz 22.7µs |
2900Hz 22.4µs |
1970Hz 22µs |
960Hz 21µs |
715Hz 20.2µs |
| 尺寸 | 质量 | 位移 | 尺寸 | ||||||
| 型号 | 驱动器数量 | 孔径(mm) | 间距(mm) | 径上驱动器数量 | 主动*佳平整度(nm RMS) | 倾斜位移(μm PV) | 离焦像散位移(μm PV) | 3×3位移(μm PV) | 机械尺寸(mm3) |
| DM69 | 69 | 10.5 | 1.5 | 9 | 7 | 60 | 40 | 25 | 52*74*22 |
| DM97-08 | 97 | 7.2 | 0.8 | 11 | 80 | 40 | 25 | 52*74*22 | |
| DM97-15 | 97 | 13.5 | 1.5 | 11 | 60 | 40 | 25 | 52*74*22 | |
| DM97-25 | 97 | 22.5 | 2.5 | 11 | 40 | 30 | 25 | 70*90*30 | |
| DM97-50 | 97 | 45 | 5.0 | 11 | 40 | 30 | 25 | 100*120*40 | |
| DM192 | 192 | 21 | 1.5 | 16 | 15 | 10 | 10 | 70*110*82 | |
| DM292 | 292 | 27 | 1.5 | 20 | 15 | 10 | 10 | 70*110*82 | |
| DM468 | 468 | 33 | 1.5 | 24 | 12 | 10 | 10 | 90*110*124 | |
| DM820 | 820 | 45 | 1.5 | 32 | 12 | 10 | 10 | 100*120*120 | |
| DM3228 | 3228 | 93 | 1.5 | 64 | 10 | 8 | 8 | 150*180*180 | |
| DMX37 | 37 | 100 | 20 | 7 | 25 | 30 | 25 | 25 | 244*290*78 |
| DMX61 | 61 | 130 | 20 | 9 | 25 | 50 | 40 | 244*290*78 | |
| DMX85 | 85 | 170 | 20 | 11 | 25 | 50 | 40 | 244*290*78 | |
| DMX121 | 121 | 200 | 20 | 13 | 30 | 50 | 40 | 350*380*90 | |
| DMX163 | 163 | 240 | 20 | 15 | 30 | 50 | 40 | 350*380*90 | |
| 型号 | *佳平整度 | 位移 | 稳定时间 | 第yi共振频率 | 相位延迟45°频率 |
| Large stroke | 7 | x1.5 | X2 | /2 | /2 |
| High speed | 7 | /2 | /2 | x2 | x2 |
| High optical quality | 3 | - | - | - | - |
| 型号: | SHCMOS |
| 加工定制: | 否 |