TH510系列半导体CV特性分析仪技术解析与应用

一、设备概述

TH510系列是专用于半导体器件‌电容-电压（C-V）特性测试‌的高精度分析仪，具备多参数测量、高速扫描及多通道扩展能力，适用于功率器件、集成电路等半导体元件的研发与质量控制。

二、核心性能特点

1. ‌高效测试能力‌

   • ‌双CPU架构‌：LCR测试速度达0.56ms/次（1800次/秒），支持快速导通测试（Cont）。

   • ‌多参数同测‌：可同步测量并显示寄生参数（Ciss、Coss、Crss、Rg）。

2. ‌灵活配置‌

   • ‌通道扩展‌：标配2通道，可扩展至6通道，支持双芯片并行测试。

   • ‌测试模式‌：点测、列表扫描（*多1001点）、图形扫描（选件）。

3. ‌高精度与宽范围‌

   • ‌电压范围‌：VGS（±40V）、VDS（200V/1500V/3000V可选）。

   • ‌频率覆盖‌：1kHz-2MHz，分辨率达0.01%。

三、典型应用场景

• ‌器件测试‌：MOSFET、IGBT、二极管等寄生电容及C-V特性分析。

• ‌材料研究‌：晶圆、液晶材料的介电常数与弹性常数测量。

• ‌工艺优化‌：通过C-V曲线评估半导体掺杂浓度与界面态密度。

四、技术参数摘要

五、操作与扩展功能

• ‌校准与分选‌：支持开路/短路/负载校准，10档分选（Bin）及PASS/FAIL指示。

• ‌数据管理‌：内部存储100M，外接USB保存设定文件、图形及记录。

该设备以一体化设计（LCR+高压源+通道切换）为核心，兼顾效率与精度，是半导体研发与生产的理想工具。