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欧普特LensThick 全自动非接触式光学测厚仪
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北京
北京欧普特科技有限公司
8年 | 指数：170 | 工商已认证
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  • 产品参数

LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪


设备原理
设备基于低相干干涉原理，采用非接触式光学测量，并配备高精度移动平台和视觉校正系统，自动测量产品的厚度及空气间隔。


主要功能
  • 非接触式测量透镜中心厚度
  • 非接触式测量微小镜头空气间隔
  • 自动上料—自动定位—自动测量—自动下料
  • UPH，单穴测量时间不大于4秒
  • 测量精度高达±0.1 μm


设备特点
  • LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；
  • 配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；
  • 采用大理石组合结构，稳定性高
  • XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；
  • 采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；
  • 测量时通过CCD图像校正，保证测量中心位置准确；


主要配置/设备关键部件
  • 非接触式光学测厚仪
测量光程： 12mm/ 40mm/80mm
测量精度： ±0.1 μm/±1μm
测量重复性： ±0.02 μm/±0.05 μm
工作波长： 1310 nm
测量速度： 20 Hz/ 7Hz/ 4Hz
  • XYR平台参数：平面度：±0.005mm
    直线度：±0.005mm
    重复定位精度：±0.001mm
    绝对位置精度：±0.001mm
  • 视觉校正相机：
    2000万像素
    低噪声，高精度

工作环境及设备尺寸参数
工作电压：220V±10%
工作环境：室温-10℃—45℃，湿度≤95%；
环境相对湿度：在+40℃时 ≤90% R.H. （无冷凝）
外型尺寸：800×1200×1960 
设备总重量：约500kg
规格参数 LensThick 系列
型号 12-1UP 40-1UP 80-1UP 12-1 40-1 80-1
厚度测量
方法 非接触式光学干涉法
精度 1,2 ±0.1 μm ±1 μm
重复性 3,4 ±0.02 μm ±0.05 μm
*大量程（光程）5 12 mm 40 mm 80 mm 12 mm 40 mm 80 mm
*小厚度6 16μm 20μm 24μm 35μm
测量频率 20 Hz 7 Hz 4 Hz 20 Hz 7 Hz 4 Hz
单位 mm、μm
溯源 NIM认证标准
环境 7
热机时间 无
温度 15℃到30℃（存储-10℃到+70℃）
压力 500 — 900 mm Hg
湿度 在+40℃时≤90% R.H.（无冷凝）
主机尺寸和重量
尺寸 570mm×700mm×590mm（长×宽×高）
重量 60㎏
支架尺寸和重量
尺寸 330mm×430mm×685mm（长×宽×高）
重量 20㎏
其他
功率 90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA*大
仪器接口 USB2.0及以上接口
*多可支持8通道测量
电脑配置  Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，键盘，鼠标
质保期 1年

⑴ 定义为测量不确定度或*大厚度误差，置信度≥99.7%。
⑵ 整个运行环境条件的不确定性。
⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。
⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。
  当反射条件较低时，重复性*坏会降低到约±0.15μm。
⑸ 折射率为1时。
⑹ 折射率为1.5的材料。
⑺ 特性性能，但不是一定的。
 
品牌：欧普特
型号：全自动
加工定制：否
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