应用领域:
纳米氧化锌可控生长炉*用于纳米氧化锌的可控生长
主要特点:
纳米氧化锌可控生长炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度
纳米氧化锌可控生长炉的耐火和保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低
纳米氧化锌可控生长炉的加热元件采用U型硅钼棒或原装进口电阻丝
纳米氧化锌可控生长炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性
技术指标:
设备型号 |
CVD(D)-06/60/3 |
CVD(Z)-06/30/1 |
CVD(G)-07/50/2 |
CVD(G)-09/50/1 |
*高温度 |
1050℃ |
1350℃ |
1650℃/1000℃ |
1650℃ |
使用温度 |
RT-1000℃ |
850-1300℃ |
1000-1600℃ |
1000-1600℃ |
控温精度 |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
温区个数 |
3 |
1 |
2 |
1 |
加热区长度 |
600mm |
300mm |
500mm |
500mm |
炉管材料 |
石英管 |
刚玉管 |
刚玉管 |
刚玉管 |
炉管尺寸 |
60x1400mm |
60x1000mm |
70x1450mm |
90x1450mm |
发热元件 |
进口电阻丝 |
电阻丝/硅碳棒 |
硅钼棒、电阻丝 |
硅钼棒 |
*大装机功率 |
4.5KW |
3KW/8KW |
8KW |
10KW |
设备照片:
联系方式: