单晶硅烘干设备特点 

1，本系列单晶硅烘干设备主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。 

2，本系列烘干设备采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠，数字直接显 示出工作温度，直观易读。 

3，本系列烘干设备采用隧道式流水线传输带烘干方式，烘干速度快，在3分钟内烘干温度可以提高到135℃-150℃，物料烘干温度可在80℃至250℃之间任意选择；能自动切断电源，提高效率，节能，保护设备和产品。

4，该设备具有物料与金属完全不接触，改善传统烘干环境，提高产品质量。

单晶硅微波烘干设备使用380V三相电，是将电能转化成为微波能，采用非接触式加热方式，微波辐射穿透单晶硅产生热效应，使单晶硅自身成为发热体，温度升高，其中的水分汽化由排湿系统排出，达到烘干干燥的目的。