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金鸿碳化硅辊棒、传动棒,杆,悬臂浆定制
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山东潍坊
山东金鸿新材料股份有限公司
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图文详情
产品参数
碳化硅悬臂浆,碳化硅扩散桨,设计特点:1、在高温环境下不变形,晶片装载力大;2、耐极冷急热,使用寿命长;3、悬臂浆热膨胀系数极小,延长了维护清洗的周期;并大幅减少污染物。应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用,是半导体晶圆装载系统的关键部件。常规尺寸有2378毫米,2550毫米,2660毫米等。
耐火温度:
1380
材质:
碳化硅
抗弯强度:
280
品牌:
金鸿
型号:
定制
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