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激光脉冲沉积镀膜机
250000.00
北京大兴区
北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司
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1、 溅射真空室组件1套,球型真空室尺寸Ф300mm,选用真空专用304#不锈钢材料制造氩弧焊接,表面进行喷玻璃丸处理。各法兰口按超高真空系统设计,采用金属密封。
2、采用一套600L/S分子泵+4L/S机械泵通过CF150超高真空闸 板阀进行主抽,通过CF3角阀旁抽。
3、封接观察窗2个, Ф100石英玻璃窗口1个(248nm紫外波段, 供激光入射用的)  4.   电磁隔断放气阀:(北京)KF40  1台。
4、 分子泵与机械泵连接金属波纹管  1套; 机械泵与真空室之间的旁抽金属波纹管管路及CF35角阀1套。
5、 CF150闸板阀:用于分子泵与真空室隔离。
6、真空测量及电控系统1套,ZDF数显复合超高真空计(全部采用金属规管)       
7、总控电源:为机械泵、真空计等提供电源,有断电断水缺相保护 功能
8、
机架:优质方钢型材(40mm×40mm×3),焊接成,,四只脚 轮,可固定,可移动。
9、附件相关规格的金属密封铜圈,氟橡胶密封圈全套不锈钢紧固螺 栓、螺母、垫片等;全套无氧铜密封垫圈(相关规格)CF16:3个;CF35:3个;CF150:2个;CF100:4个;
10、相关的技术资料各类外购件使用说明书:设备结构原理图及关键部件结构图(1套)电控系统原理结构图(1套)装箱单(1套)设备出厂合格检验证明
11、
工作条件及主要技术参数:供电:~380V三相五线供电系统(容量 5KW)。相对湿度;≤80﹪。
品牌:wayes-vac
型号:W-TC350
加工定制:
适用范围:10-6Pa
电镀电源:直流电源
镀膜材质:金属/有机物
镀膜原理:热蒸镀
镀种:硅片
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