采用脉冲高压高频等离子体电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。
在等离子处理器内，设有两个处理单元：
    ①UV光解部分，采用大功率高能紫外放电管，属低压水银放电管，发出的紫外线波长主要为170nm及184.9nm，光子能量分别为742KJ/mol和647KJ/mol，发出比污染物质分子的结合能力强的光子能，可以高/效裂解切断污染物质分子的分子键，对有机废气进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外；
    UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，VOC类，苯、甲苯、二甲苯等的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O﹡(游离氧)O+O2→O3(臭氧)，臭氧对有机物具有很强的氧化作用，对有机废气及其他刺激性异味有立竿见影的清除效果。该设备风阻较低，仅为100Pa左右。
②等离子氧化部分，等离子是由电子、离子、自由基和中性离子组成，它们比常规分子小。等离子净化技术就是利用高频高压的电场，将空气中的氧分子和其它分子电离产生出电子、离子、自由基和中性粒子等小分子，这些等离子通过进入需分解的臭气分子内部，打开分子链，破坏分子结构的原理，以每秒300万至3000万速度的等量发射和回收，轰击发生臭气的分子，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，将有害物转为无害物的方法。