在半导体制造、光伏镀膜、真空检测等对真空性能与可靠性要求极高的领域，我们推出的脂润滑复合分子泵以紧凑设计、低污染与高稳定性为核心，为您提供兼具经济性与高性能的真空解决方案。
核心优势
• 紧凑设计，灵活适配
作为紧凑型高性能分子泵，拥有700L/S、1300L/S、2000L/S多档抽速可选，结构紧凑且支持任意角度安装，能够轻松适配不同尺寸的真空腔体与复杂的设备布局，安装自由度极高。
• 脂润滑低污染，守护工艺洁净
采用脂润滑技术，对真空系统的污染极小，无需频繁更换油液，有效避免了油蒸汽对工艺环境的干扰，特别适合对洁净度有较高要求的半导体、制灯与真空检漏场景。
• 高稳定长寿命，降低运维成本
搭载陶瓷轴承，运行振动值≤0.1μm，启动时间＜5分钟，配合风冷散热设计，设备可长期稳定运行，大幅减少非计划停机；脂润滑设计也让日常维护更简便，有效降低全生命周期成本。
• 多场景适配，行业覆盖广
性能稳定、适配性强，广泛应用于半导体设备、太阳能电池、玻璃镀膜、加速器、等离子技术、制灯及真空检漏等行业，满足多领域的高性能真空需求。
典型应用场景
• 半导体与微电子：芯片制造、晶圆加工等真空环节
• 光伏与光学：太阳能电池镀膜、玻璃镀膜、制灯工艺
• 科研与检测：粒子加速器、真空检漏设备、表面分析仪器
• 工业制造：等离子体处理、精密电子器件封装
服务与支持
我们提供从泵型选型、系统集成到现场调试的全流程服务，技术团队可根据您的工况需求定制解决方案，并提供7×24小时技术响应，保障您的真空系统持续高效运行。
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