对于氦检炉氦气回收循环装置的氦气提纯是实现氦气资源循环利用的重要技术,目前工业上氦气提纯方法主要有选择吸附法、低温精馏法、化学反应法和薄膜扩散法,这四种方法的应用原理各有不同。选择吸附是利用固体吸附剂对气体中各组份的吸附能力不同,达到分离或纯化气体的目的物理吸附的作用力是范德华力,物理吸附是可逆的。物理吸附中吸附剂吸附各种气体杂质达到饱和后,必须再生才能继续使用。
对于氦检炉氦气回收循环装置在纯化氦气的过程中物理吸附中的吸附剂常使用硅胶、分子筛和活性炭。且物理吸附常与其他纯化方法互相配合,诸如化学吸附、低温冷凝等方法一起构成氦气的纯化工艺。
对于氦检炉氦气回收循环装置的氦气提纯低温精馏法主要是利用了各种气体组份在冷却后沸点不一样及气体在低温下可形成固态、液态、气态从而分离不同相态的组份。在半导体工业用的氦气就是利用低温将氮气中的杂质经低温冷冻室固体化后,再经过滤器过滤固体化的杂质过滤后的氦气可用于半导体生产。
在氦氮分离中,工业中常用液氮和液氖作为冷凝剂。液氢冷凝法是在常压液氢温度(20.4K)或负压液氢温度(3~15K),使氖固化,氮呈气态,氮的纯度能控制在 99.9%左右。
低温精馏法单独使用不能纯化氦气,需与其它方法结合。