热管氦气回收装置技术规格书一、设备名称：氦气回收装置二、设备用途：将热管氦气老化炉中使用后的氦气回收，下次开炉时再将回收的氦气回填三、设备功能：      1、热管气氛炉容积：2.2立方米；氦气压力：3.0KG/cm2      2、氦气回收率：>95%      3、该装置须*终回收3台气氛老化炉中之氦气，可每次只对应单只气氛老化炉进行氦气回收-----选择炉号后，个阀门自动顺序开启或关闭，在0.5小时内回收完毕（因目前只有1台气氛老化炉，需为另2台预留下接口和PLC控制点等）四、设备基本组成：      1、储气罐3立方米（不小于此规格），压力10KG/cm2以上；      2、抽真空&增压系统，零部件品牌依报价书      3、管道阀门等配套系统（含与气氛老化炉连接部分）      4、电气（人机）控制系统，零部件品牌依报价书五、设备安全事项：      1、抽真空&增压系统等需防高温着火，做好安全控制和防护      2、储气罐等压力装置须有国家认定的合格证书      3、氦气管道及阀门等须严密防漏六、随机技术资料      1、产品使用说明书      2、随机附工具箱一个      3、随机附耗材品清单及供应商七、其它事项：      1、安装调试      2、培训      3、保固一年